积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%

2024年4月28日晚间，微导纳(nà)米(mǐ)公布2023年(nián)报及2024年一季(jì)报。2023年(nián)全年，公司实现营业收入16.80亿元，同比增长(zhǎng)145.39%。实现归母净利润2.70亿元，同比增(zēng)长399.33%。扣非归(guī)母净利润1.88亿(yì)元，同比增长(zhǎng)849.89%。

2024年一季度，微导纳米营业收入达1.71亿元，同比增(zēng)长125.27%；归母净利润达357.34万元，相比(bǐ)去年同期，实现扭亏为盈，公司业(yè)务呈(chéng)现高速增长态势(shì)。

报告期内，得益于微(wēi)导纳米在薄(báo)膜技术领域(yù)的不断突破，以及(jí)公司在全球化发展和多元化(huà)布局上的努力，微导纳米在实现产品工艺(yì)优化(huà)升级的同时，客户群体覆盖度也在进一步扩大(dà)，业务呈(chéng)现良好发(fā)展态(tài)画难忘的小学生活势、市场竞争力、运营效率(lǜ)持续提升，有(yǒu)力推动了(le)订单规模和经(jīng)营业绩的持续增长。

坚持ALD+CVD等镀(dù)膜平台化战略，赋能多元化产业(yè)发展

微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了(le)以(yǐ)原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多(duō)种(zhǒng)真空薄膜技术梯次发展的技术平台体系，专注于(yú)先进(jìn)微米级、纳(nà)米级薄膜设备的研发、生(shēng)产与销售，向下游客户提供尖端薄膜设备(bèi)、配套产品及服务(wù)。

长期以来，微导(dǎo)纳米坚持以ALD为核心，CVD等多种(zhǒng)真空薄膜(mó)技术梯次发展技术平台体系(xì)，凭借在新(xīn)兴应(yīng)用领域的前瞻性战(zhàn)略(lüè)布局，微导纳米开发的薄膜沉积技术及(jí)设备，目前已广泛运用于半导体、光伏(fú)及新兴(xīng)应用领域(yù)，并取得亮眼表现。

在(zài)半导体(tǐ)领域，微导纳米构建了以ALD为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展技(jì)术平台体系，公司半导体集成电(diàn)路产品涵盖逻辑、存(cún)储、化合物半导体、新型显示等诸多细分应用(yòng)领域。在光伏领域，公司ALD设备的市场占(zhàn)有率保持领(lǐng)先，实现(xiàn)了对TOPCon产线真空类设备的(de)全覆盖，并在XBC、HJT、钙钛矿、钙(gài)钛矿叠层等电池技术领域(yù)均(jūn)有产品储备、布局和出货。在新(xīn)兴应用领(lǐng)域，2023年(nián)，微导纳米已在光学(xué)、柔性电子、车(chē)规级芯片等几个极具市场潜力的薄膜沉积技术应用前沿领域开始获得客户订单。

得益于ALD+CVD等(děng)镀膜平台化(huà)战略，微导纳(nà)米2023年成绩亮眼(yǎn)。业绩报告显(xiǎn)示，2023年，公司新增订单(dān)总额约64.69亿元，是去年同期新增订单的2.96倍。截止至2024年3月31日，公司在手订单81.91亿(yì)元（含Demo订单），其中光伏在手订单70.26亿元，半导体在手订(dìng)单11.15亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单0.50亿元。

下(xià)游业务迎来突破性(xìng)发展，微导纳米积极(jí)开拓新兴市场应用

在半导体领(lǐng)域，微导纳米是(shì)国内首家成功将(jiāng)量产型 High-k 原子层沉(chén)积(ALD)设备应用于(yú)集成电路(lù)制造前道生(shēng)产线的国产设(shè)备厂商(shāng)。同时，2023年7月，微(wēi)导纳米首台半导(dǎo)体CVD薄膜沉(chén)积设备顺利发(fā)货至客(kè)户(hù)端，旨在通过差异化策略开发出市场(chǎng)亟需(xū)的CVD领域高端设备，解决关键工艺的(de)市场空白。

根据SEMI行业统计，ALD约占半导体镀膜板块(kuài)的11%~13%市(shì)场份额，未(wèi)来几年将保持高速增长，复合增长率高(gāo)达26.3%；CVD约占半导体(tǐ)镀膜板块的57%市场(chǎng)份额，未来(lái)几年的复合(hé)增长率约为8.9%。

目前，微导纳米已经开发工艺包括HKMG技术、柱(zhù)状电容器(qì)、金属化薄膜(mó)沉积技术及高深宽比3D DRAM、TSV技术等(děng)，覆盖HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、HfSiO、HZO、HZLO、TiN、AlN、SiN、SiON、SiGe等(děng)薄膜材料。

在光伏领(lǐng)域，2023年11月，微导纳米自主研发的钙钛矿晶硅叠层电池专用(yòng)ALD量产设(shè)备，顺利发至海外客户。2024年3月，微(wēi)导(dǎo)纳米成功研(yán)发出首(shǒu)台适(shì)用于大面(miàn)积百兆(zhào)瓦钙钛矿电池生产的专用量产(chǎn)型原子层沉积(ALD)设备(bèi)，并已顺利发货(huò)至业内领军(jūn)企业。

值得一提的是，报告(gào)期内(nèi)，微导纳米新增立项(xiàng)多项新兴(xīng)产业应用项目(mù)，分布于柔性镀膜、芯片封装、光学超低减反膜沉积、新能(néng)源等细分应(yīng)用领域镀膜(mó)环节。截至目前，微导(dǎo)纳米自主研发的柔性电(diàn)子二代机、应用(yòng)于车规级(jí)芯(xīn)片ALD设备(bèi)以及首(shǒu)台光学领域镀(dù)膜设(shè)备(bèi)已顺利发货(huò)，其中车规级芯片(piàn)ALD设备出口海(hǎi)外。2024年1月，微导纳米(mǐ)创新研发的ALD量产设备顺利发往欧洲某头部芯片封装客户，实现国产高端设备出口海外。

图：薄膜沉积(jī)技(jì)术(shù)在部分新兴领域的应用场景

微导纳米在财报中表示，公司将继(jì)续依托产业(yè画难忘的小学生活)化应用中心持续(xù)探索尖端(duān)薄膜沉积技术在各新兴应用领(lǐng)域(yù)的发展机会，并逐步(bù)开展产品(pǐn)应用验证，持续推动新(xīn)兴(xīng)产业的技术(shù)进步。

持续(xù)加(jiā)码技术研发，深挖薄膜沉积设备技(jì)术护城河

近年来，微(wēi)导纳米以ALD技术为核心的薄膜沉积(jī)技(jì)术领域形成了多项核心(xīn)技术和科技成果，并成功将其(qí)应(yīng)用于主营业务，实现了科技成果与产业的深度(dù)融合。与此(cǐ)同时，微(wēi)导纳(nà)米始终坚持(chí)自主创新、持续加大研发投入，持续探索技术边(biān)界，积极应对市场需求的变化，不断拓宽并(bìng)深化在产(chǎn)业前瞻领域的技术应用，力求实现更广泛的技(jì)术创(chuàng)新与产业(yè)融合。

2023年(nián)，微导纳米研发投入3.08亿元，占营业收入比例达18.34%，其中约(yuē)50%投向半导体领域，包括逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体(tǐ)等项目；光伏领域研发投向包括TOPCon、XBC、钙钛矿/钙钛矿叠层电池画难忘的小学生活等新一代高效电池技术等项目。研(yán)发队伍人员不断增加，研发人员达到429人，同(tóng)比(bǐ)增长78.01%。

得益于公司对研发(fā)的重视及在研发投入上的不断(duàn)加(jiā)码，2023年，微导纳米新增各类专利申请146项(xiàng)，新(xīn)增专利授权35项，累计授(shòu)权专利达到137项，逐步形(xíng)成(chéng)了薄膜沉积(jī)反应器设计(jì)技术(shù)、基于原(yuán)子层沉(chén)积的高效电池技术、柔性(xìng)材料制备技术、薄(báo)膜封装技术等十大核心技术。

凭借坚持(chí)执行ALD+CVD等镀膜平台(tái)化战略，微(wēi)导纳米(mǐ)正(zhèng)持续在新兴领域(yù)进行前沿化(huà)开发，为公司未来发展创造更多收入增长极(jí)。此外，在技术协同效应进(jìn)一步显现(xiàn)下，微(wēi)导纳米通过跨(kuà)行(xíng)业的(de)业务分布，拥有了较强的(de)穿越行业周期的能力，公司(sī)的抗风险能力得到进一步(bù)提(tí)升。未来，随(suí)着其(qí)他新兴技术市场的发展，微导纳米作为平台型的关键设备供应商的优势将进一步显现。（齐和宁）

校对：苏焕文

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